基片溫度對薄膜結構也有較大影響?；瑴囟雀?，使吸附原子的動(dòng)能隨著(zhù)增大，跨越表面勢壘的幾率增大，容易結晶化，并使薄膜缺陷減少，同時(shí)薄膜內應力也會(huì )減小?；瑴囟鹊?，則易形成無(wú)定形結構的薄膜?；瑴囟鹊倪x擇要視具體情況而定。一般說(shuō)來(lái)，如果沉積的膜層比較薄，當基片溫度比較低時(shí)，沉積室內的金屬原子很快失去動(dòng)能，并在基片表面上凝結，這時(shí)的膜層比較均勻致密，當基片溫度過(guò)高時(shí)反而會(huì )出現大顆晶粒，使膜層表面粗糙.如果沉積比較厚的膜層，一般要求基片溫度適當高一些，可以減少膜的內應力。