雖然介質(zhì)薄膜的空位、位錯、裂縫等缺陷以及氧化物、化學(xué)計量比偏離、雜質(zhì)等缺陷均多于相應的塊狀材料，但介質(zhì)薄膜的介電機理、損耗機理與擊穿機理等仍可用塊狀介質(zhì)材料的相應機理表述。
    介質(zhì)薄膜的極化
    當垂直于介質(zhì)薄膜加一電場(chǎng)時(shí)，其表面就有感生束縛電荷出現，稱(chēng)為介質(zhì)薄膜的極化，其實(shí)質(zhì)就是介質(zhì)薄膜內的原子核、電子云、離子等在電場(chǎng)作用下發(fā)生定向移動(dòng)和某些具有偶極矩的分子在電場(chǎng)作用下定向排列。常用極化強度尸來(lái)表示束縛電荷的多少。