薄膜在基片表面上的附著(zhù)，是范德華力、擴散附著(zhù)、機械鎖合、靜電引力等多種因素綜合作用的結果。如薄膜材料與基片形成化合物，化學(xué)鍵力成為主要的附著(zhù)作用力。薄膜的附著(zhù)力可分為簡(jiǎn)單附著(zhù)、擴散附著(zhù)、通過(guò)中間層附著(zhù)和宏觀(guān)效應附著(zhù)等四種類(lèi)型。