薄膜在基片上的附著(zhù)性能決定了薄膜應用的可能性和可靠性。附著(zhù)的定義為:薄膜與基片保持接觸，兩者的原子互相受到對方的吸附作用的狀態(tài)。把單位面積的薄膜從基片上準靜態(tài)地剝離下來(lái)所需的力為附著(zhù)力，所需要的能量為附著(zhù)能。