模型的建立
    薄膜沉積過(guò)程是一個(gè)非常復雜的物理化學(xué)變化過(guò)程。薄膜生長(cháng)的整個(gè)過(guò)程不僅涉及到晶粒的生長(cháng)、晶粒間的相互作用、邊界運動(dòng)等因素的機理，也涉及空間填補的拓撲幾何機理。因此，要對此進(jìn)行實(shí)際真實(shí)的模擬是不可能的，只能是針對研究的目的，建立合適的理想模型，以此了解微觀(guān)世界所發(fā)生的事件。采用Monte Carl。模擬方法來(lái)考察粒子沉積在基體表面發(fā)生的隨機過(guò)程。