隨著(zhù)計算機科學(xué)的發(fā)展，從20世紀70年代開(kāi)始，國際上許多研究工作者用計算機模擬方法研究薄膜的形成過(guò)程。利用計算機模擬薄膜形成過(guò)程時(shí)大體可以采用兩種方法:蒙特卡羅方法和分子動(dòng)力學(xué)方法。
    蒙特卡羅(Monte Carlo)方法又稱(chēng)隨機模擬法或統計試驗法。用這種方法處理問(wèn)題時(shí)，首先要建立隨機模型，然后產(chǎn)生一系列隨機數用以模擬這個(gè)過(guò)程，*再作統計性處理。在模擬薄膜形成過(guò)程時(shí)，將氣相原子人射到基體上、吸附、解吸，吸附原子的凝結、表面擴散、成核、形成聚集體和形成小島等都看為獨立過(guò)程并作隨機現象處理。
    分子動(dòng)力學(xué)(molecular dynamics)方法是一種較老的方法。在這種方法中對系統的典型樣本的演化都是以時(shí)間和距離的微觀(guān)尺度進(jìn)行的。