無(wú)定形結構薄膜在環(huán)境溫度下是穩定的。它既包含有不規則的網(wǎng)絡(luò )結構(玻璃態(tài))，也包括隨機密堆積的結構。前者主要出現在氧化物薄膜、元素半導體薄膜和硫化物薄膜之中，后者主要出現在合金薄膜之中?？梢哉J為，不規則的網(wǎng)絡(luò )結構是兩種互相貫通的隨機密堆積結構組成。用衍射法研究時(shí)，這種結構在X射線(xiàn)衍射譜圖中呈現很寬的散射峰，在電子衍射圖中則顯示出很寬的彌散形光環(huán)。