在透射電子顯微鏡觀(guān)察到的薄膜形成過(guò)程照片中，能觀(guān)測到最小核的尺寸約為20A~30A左右。在核進(jìn)一步長(cháng)大變成小島過(guò)程中，平行于基片表面方向的生長(cháng)速度大于垂直方向的生長(cháng)速度。這是因為核的生長(cháng)主要是由于基片表面上吸附原子的擴散遷移碰撞結合，而不是入射蒸發(fā)氣相原子碰撞結合決定的。這些不斷捕獲吸附原子生長(cháng)的核逐漸從球帽形、圓形變成多面體小島。對于島的形成可用熱力學(xué)宏觀(guān)物理量如表面自由能，也可用微觀(guān)物理量如結合能來(lái)判別。