非晶薄膜的生長(cháng)特性
非晶態(tài)是一種近程有序結構。就是在2個(gè)一3個(gè)原子距離內原子排列是有秩序的,大于這個(gè)距離其排列是雜亂無(wú)規則的。例如,非晶硅的每個(gè)原子仍為四價(jià)共價(jià)鍵,并且與最近鄰原子構成四面體,仍是有規律的。非晶態(tài)的另一個(gè)特點(diǎn)是,其自由能比同種材料晶態(tài)的自由能高,即處于一種亞穩態(tài),有向平衡態(tài)(穩定態(tài))轉變的趨勢。但是從亞穩態(tài)轉變?yōu)樽杂赡艿偷钠胶鈶B(tài),必須克服一定的勢壘。因此,非晶態(tài)及其結構具有相對的穩定性。這種相對穩定性直接關(guān)系著(zhù)非晶態(tài)材料的使用壽命和應用。典型的非晶態(tài)材料是玻璃,此外,由蒸發(fā)、濺射、CVD等方法在基片溫度較低時(shí)制得的許多薄膜都屬于非晶態(tài)。