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薄膜表面擴散過(guò)程

入射到基底表面上的氣相原子在表面上形成吸附原子后,它便失去了沿表面法線(xiàn)方向的動(dòng)能,只具有與表面水平方向相平行運動(dòng)的動(dòng)能。依靠這種動(dòng)能,吸附原子可以在表面上作不同方向的表面擴散運動(dòng)。在表面擴散過(guò)程中,單個(gè)吸附原子間相互碰撞形成原子對之后才能產(chǎn)生凝結。因此凝結就是指吸附原子結合成原子對及其以后的過(guò)程。所以吸附原子的表面擴散運動(dòng)是形成凝結的必要條件。表面擴散能比吸附能小得多,大約是吸附能的1/6~1/2。

吸附原子在一個(gè)吸附位置上的停留時(shí)間稱(chēng)為平均表面擴散時(shí)間。

吸附原子在表面停留時(shí)間經(jīng)過(guò)擴散運動(dòng)所移動(dòng)的距離(從起始點(diǎn)到終點(diǎn)的間隔)稱(chēng)為平均表面擴散距離。